ITO導電膜經(jīng)等離子處理后,在表面清潔、親水性、導電性及附著力等方面都有顯著效果,具體如下:
表面清潔:等離子處理能夠有效去除 ITO導電膜表面的有機物污染、油脂和灰塵等雜質(zhì)。等離子體中的高能粒子會與污染物發(fā)生化學反應(yīng),將其分解為易揮發(fā)的氣體,從而達到清潔表面的目的,為后續(xù)的加工和應(yīng)用提供干凈的表面。
親水性提高:處理后,ITO導電膜表面的親水性明顯增強。這是因為等離子處理在膜表面引入了羥基、羧基等極性基團,使表面能增加,接觸角減小。親水性的提高有利于在其表面進行涂層、光刻膠涂布等工藝,能使液體材料更好地鋪展和均勻覆蓋,提高工藝的精度和質(zhì)量。
導電性優(yōu)化:等離子處理可以改善 ITO導電膜的晶體結(jié)構(gòu),減少晶格缺陷和雜質(zhì),從而降低電阻,提高導電性能。此外,等離子體中的離子轟擊還可以使膜表面的原子重新排列,形成更有利于電子傳輸?shù)耐ǖ?,進一步提升導電性。
附著力增強:如果需要在 ITO導電膜上沉積其他薄膜或進行印刷等工藝,等離子處理可以顯著提高它們之間的附著力。一方面,表面清潔和平整化增加了與其他材料的接觸面積;另一方面,引入的極性基團能與其他材料形成化學鍵或較強的物理吸附作用,使結(jié)合更加牢固,提高了膜層結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性和可靠性。