目前,針對不同設(shè)備及使用環(huán)境分為4種類型,再根據(jù)變色靈敏度要求的不同每個類型又分為高、中、低敏感度。

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  通過各種等離子體處理使本產(chǎn)品變色區(qū)產(chǎn)生顏色變化,在想要確認(rèn)等離子體處理效果的部位設(shè)置該指示卡,可以不利用電、光學(xué)測量裝置的情況下確認(rèn)等離子體處理效果。

  A型主要適用與O?、N?、Air、CF4、NH3、Ar等自由基性等離子體的檢測,也適用于UV洗凈和臭氧洗凈。可用于接合線、覆晶線等接合處的表面改性、部分封裝后底部填充前的洗凈和電鍍前表面改質(zhì)以及LSI、存儲器、MEMS、LED等電子設(shè)備對裝前的洗凈。

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  B型等離子體處理指示卡可用于大氣等離子表面處理的檢測,分為高敏度和低敏感度兩種。主要用于印刷電路板制造、FPD制造和膜加工等大面積處理。

  C型變色部分為無機材料,基材為PI材質(zhì),背膠可承受200攝氏度高溫。具有柔軟性,可自由貼附于基板表面或等離子清洗機設(shè)備內(nèi)部。處理后會根據(jù)不同氣體顯示不同的顏色。

  D型主要用于檢測均勻性,可提高面內(nèi)均一性檢測效率,對面內(nèi)差和層間差均可輕松檢測。

  E型晶圓專用(提高良品率,開機前處理),我們正在研發(fā)中;

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本產(chǎn)品的變色區(qū)印刷的色素與各種等離子體反應(yīng),根據(jù)處理時間、功率、工藝氣體種類和氣體流量等參數(shù)的不同會產(chǎn)生不同程度的顏色變化。