等離子清洗是一種干式清洗工藝，核心就是氣體的使用，不用工藝需求的氣體配方是不一樣的，今天我們主要來聊聊為什么等離子清洗機(jī)選擇氮?dú)庾鳛樘幚聿牧稀?/span>

1、氮?dú)庾鳛椴换顫姷臍怏w，在反應(yīng)過程中可以帶來穩(wěn)定的表面處理效果；

2、氮?dú)庠诳諝庵泻扛撸@取比較輕松方便，降低成本；

3、氮?dú)獾奶幚砟軌蛴行Э刂飘a(chǎn)品表面成分，不會產(chǎn)品負(fù)面效果；

4、氮?dú)馐且环N無色無味的氣體，無毒也不爆炸，處理后可以直接排出，不許處理廢棄；

5、氮?dú)庠谝恍┍砻嫣幚砉に囍惺鞘走x氣體，能夠更好的處理表面問題。

  除了作為單一的工藝氣體，氮?dú)膺€能夠與氫氣、氧氣、氟化氮、四氟化碳等氣體混合進(jìn)行使用；常見的工藝氣體分為活潑型和不活潑型：

不活潑氣體如氬氣（Ar）、氮?dú)?（N2）、氟化氮（NF3）、四氟化碳（CF4）和空氣等

活潑氣體如氧氣（O2）、氫氣（H2） 等

  當(dāng)單一氣體無法達(dá)到處理效果時，我們就需要對配方進(jìn)行調(diào)整，采用混合型氣體作為工藝氣體處理，不同類型的氣體在清洗過程中的反應(yīng)機(jī)理是不同的，活潑氣體的等離子體具有更強(qiáng)的化學(xué)反應(yīng)活性。