電漿刻蝕機(jī)是一種利用等離子體（電漿）對(duì)材料表面進(jìn)行清洗的設(shè)備。產(chǎn)品可以提供穩(wěn)定的表面處理效果，帶來改性、刻蝕等多種用途。

電漿刻蝕機(jī)原理

等離子體(plasma)又叫做電漿，設(shè)備的核心就是等離子體，它是很好的導(dǎo)電體，通過磁場可以移動(dòng)、加速等離子體，通過其特性在材料、能源、環(huán)境、物理等多個(gè)領(lǐng)域帶來幫助；電漿刻蝕機(jī)通過等離子發(fā)生器產(chǎn)生的等離子體對(duì)產(chǎn)品表面進(jìn)行處理，與表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)生產(chǎn)揮發(fā)性物質(zhì)，在表面形成需要的圖案以及紋路，達(dá)到刻蝕的目標(biāo)。

電漿刻蝕機(jī)應(yīng)用

芯片制造：利用純四氟化碳?xì)怏w或四氟化碳與氧氣結(jié)合，可在晶圓上形成微米級(jí)氮化硅刻蝕，四氟化碳與氧氣、氫氣結(jié)合可去除四氟化碳。

電路板制造：隨著行業(yè)發(fā)展，電路板越來越小，上面孔也越來越小，傳統(tǒng)的藥劑清洗難以處理微孔問題，等離子體具有很強(qiáng)的擴(kuò)散性，因此產(chǎn)生的刻蝕氣相等離子體可以有效刻蝕微米級(jí)孔洞，通過調(diào)整工藝參數(shù)可以控制咬蝕量。

電漿刻蝕機(jī)在很多行業(yè)都得到了廣泛應(yīng)用，解決很多材料表面處理上的難題，廠家可以根據(jù)自身需求進(jìn)行產(chǎn)品定制以滿足生產(chǎn)中的應(yīng)用。