微波等離子清洗機(jī)是一款表面處理設(shè)備，能夠處理各類(lèi)污染物，主要應(yīng)用在集成電路、半導(dǎo)體等行業(yè)；微波等離子清洗工藝是一種干式精密清洗技術(shù)，能夠?qū)ξ⒖?、狹縫等細(xì)小的空間進(jìn)行處理，解決這類(lèi)部位的表面處理難題。

一、微波等離子清洗機(jī)原理

微波是因?yàn)殡娫搭l率，分別是直流、低頻40KHz、射頻13.56MHz及本文介紹的微波2.45GHz。

利用微波源振蕩產(chǎn)生的高頻交變電磁場(chǎng)將氧、氬、氫等工藝氣體電離，生成等離子體，活性等離子體對(duì)被清洗物進(jìn)行表面處理，達(dá)到表面清潔活化的目的。

二、微波等離子清洗機(jī)優(yōu)勢(shì)

1、等離子體清洗對(duì)器件無(wú)損傷，減少原料消耗；

2、設(shè)備成本低，可以自動(dòng)化進(jìn)行處理，降低成本；

3、可定制化，能夠針對(duì)自己產(chǎn)品進(jìn)行定制，以達(dá)到好的處理效果；

4、一致性強(qiáng)，整個(gè)工藝完善后可以確保每個(gè)批次處理效果穩(wěn)定；

5、處理范圍廣，不用糾結(jié)產(chǎn)品外形，能夠多方位，多方向的進(jìn)行處理；

微波等離子清洗機(jī)作為等離子清洗工藝中一環(huán)，目前應(yīng)用上不如直流、中頻、射頻等類(lèi)型廣泛，但是這類(lèi)設(shè)備也有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)，在未來(lái)的市場(chǎng)大有可為。