大家知道了真空泵是什么，今天和大家來說說什么是真空泵組，其實簡單來說就是將2臺及以上的真空泵所組合在一起，從而形成串聯(lián)的結(jié)構(gòu)，加快抽真空的一個速度，小編今天和大家分析分析一般在等離子清洗機上的真空泵組的分類有哪三大類！

1. 油式泵組

油式泵組是指旋片式真空泵+羅茨泵旋片式組成的泵組，這類泵組一般運用于對潔凈度要求不是很高且腔體較大的真空等離子清洗機上。其優(yōu)點有很多：比如能夠大幅度加大抽速，減少抽真空的時間；結(jié)構(gòu)較為簡單，維護方便；性價比較高，具有價格優(yōu)勢。這種泵組是真空等離子清洗機中最常見的一種泵組，它是由旋片式真空泵作為底泵，外加羅茨泵作為次級泵組合而成的泵組。

2. 干式泵組

干式泵組由干式螺桿真空泵+羅茨泵組合成，這種泵組是將干式螺桿真空泵作為底泵，羅茨泵作為次級泵組合成的泵組。一般運用于生物醫(yī)療領(lǐng)域、半導(dǎo)體領(lǐng)域以及航天航空領(lǐng)域等潔凈度要求較高的行業(yè)。因為都是由干式真空泵組合而成的，所以不會出現(xiàn)油污染，潔凈度相較于油式泵組更高一些。

3. 特殊泵組

機械泵+分子泵就組成了一款特殊的泵組-分子泵組。使用分子泵組能夠形成清潔的超高真空環(huán)境，所以分子泵組一般是運用在鍍膜機、刻蝕機等對真空環(huán)境要求高的設(shè)備上。分子泵組啟動快，抽速非常快；分子泵組是不會使用油的，不會產(chǎn)生油污染；維護起來相對簡單。

上述就是等離子清洗機的最常見的三種泵組的組合，大家如果對這方面還有什么疑惑或者補充的可以隨時聯(lián)系我們哦！

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