明明是同一種工藝參數(shù)，任何條件都沒有變，通過真空等離子清洗機(jī)的反應(yīng)腔室觀察，放電顏色經(jīng)常會有所不同。這種情況，你遇到過嗎？你好奇它產(chǎn)生的原因嗎？究竟是因?yàn)槭裁茨?普樂斯的小伙伴給你來解答。

真空等離子清洗機(jī)放電的原理是，在一個密閉的腔室內(nèi)，獲得一定的真空度，然后通入相關(guān)工藝氣體，激發(fā)能量形成等離子體。影響等離子體放電的參數(shù)包括：氣體種類、氣體比例、氣壓、氣源供給、功率、頻率等，其中與等離子體顏色密切相關(guān)的是氣體、氣壓和氣源。

不同工藝氣體電離后每個原子的激發(fā)光譜不一樣，顏色也是變化的，激勵功率、頻率不一樣，即便同一個物種也會有不同的顏色，比如氬氣是可以呈現(xiàn)淡紫色，或藍(lán)色。何況等離子體產(chǎn)生的光不是單一的，而是混在一起的顏色。1 氣體成分對于真空等離子清洗機(jī)放電顏色的影響

不同工藝氣體，例如氧氣、氬氣、氮?dú)?、四氟化碳等單一氣體，或者是這些氣體一種或兩種以上的混合氣體，不同比例，產(chǎn)生的等離子顏色是不同的。

以下圖1是真空等離子清洗機(jī)放電狀態(tài)

2 氣壓大小對于真空等離子清洗機(jī)放電顏色的影響

真空等離子清洗機(jī)每一次運(yùn)行前，都會抽真空，假如背底真空不同，反應(yīng)腔體和管路里面有殘余的氣體，例如空氣，真空度的不穩(wěn)定，也會影響放電顏色。

以下圖2是真空等離子清洗機(jī)放電狀態(tài)

3 氣源對于真空等離子清洗機(jī)放電顏色的影響

真空等離子清洗機(jī)的氣源純度，氣瓶殘余氣體成分或多少，是否混入氣體氣體等，也會影響放電的顏色。

以下圖3是真空等離子清洗機(jī)放電狀態(tài)

以上三張圖，就是同一種參數(shù)在同樣一臺真空等離子清洗機(jī)運(yùn)行的放電狀態(tài)，是不是很神奇？不同等離子體顏色，直觀反映出不同等離子體的成分，處理產(chǎn)品的效果會有差異。在工業(yè)應(yīng)用中，為保證產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性、一致性，這種情況是要避免的。

解決辦法：購買瓶裝氣體的渠道要正，保證氣體的一定純度；背底真空抽取和測量要有好的配套設(shè)施和計(jì)量計(jì)；腔體焊接質(zhì)量要有保證，有側(cè)漏環(huán)節(jié)，對漏率有要求等等。